TF5220 | TwinCAT 3 CNC 軸包TF5220 | TwinCAT 3 CNC 軸包1使用 TwinCAT CNC Axes Pack，最多可以擴(kuò)展 64 個(gè)軸/受控主軸，其中最多 32 個(gè)路徑軸和最多 12 個(gè)受控主軸。

EtherCAT：半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)EtherCAT 在半導(dǎo)體行業(yè)享有盛譽(yù)：的晶圓級生產(chǎn)設(shè)備制造商中有 12 家是 EtherCAT 技術(shù)集團(tuán) (ETG) 的成員，并在其機(jī)器和系統(tǒng)中使用 EtherCAT。者應(yīng)用材料公司是 ETG 的創(chuàng)始成員，并在該協(xié)會的董事會中有代表。大型半導(dǎo)體制造商現(xiàn)在正在為其新的生產(chǎn)設(shè)施使用 EtherCAT。 EtherCAT 是 SEMI™ 標(biāo)準(zhǔn)，ETG 非常活躍的半導(dǎo)體技術(shù)工作組開發(fā)了一系列特定于行業(yè)的設(shè)備配置文件。 EtherCAT 的安全性也已進(jìn)入晶圓廠。Beckhoff 是 EtherCAT 的發(fā)明者，也是基于 PC 的控制以及模塊化 I/O 組件的先*。沒有其他制造商擁有更多的 EtherCAT 專業(yè)知識或提供更多種類的 EtherCAT 設(shè)備。 TwinCAT 是 EtherCAT 主站的黃金標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)然每個(gè) EtherCAT 設(shè)備供應(yīng)商都使用 TwinCAT 軟件作為參考。我們的解決方案體現(xiàn)在整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)：無論是前端還是后端，無論是芯片還是光伏，從晶圓運(yùn)輸?shù)浇M裝系統(tǒng)。我們?yōu)樗袘?yīng)用提供合適的 I/O 模塊、可擴(kuò)展的控制器、強(qiáng)大的驅(qū)動(dòng)技術(shù)和引人注目的軟件解決方案——自然地與該行業(yè)的 EtherCAT 相結(jié)合。作為半導(dǎo)體行業(yè)值得信賴的合作伙伴，我們也熟悉該行業(yè)的特殊要求，例如“精確復(fù)制”。